Hệ thống màng mỏng bay hơi chùm tia điện tử

Hệ thống bay hơi chùm tia điện tử dòng EBE-được thiết kế để lắng đọng hơi vật lý (PVD) của kim loại có điểm-nóng chảy{2}}cao, chất điện môi và vật liệu quang học. Bằng cách sử dụng chùm tia điện tử tập trung, bị lệch từ tính trực tiếp vào các vật liệu nguồn trong nồi nấu kim loại-làm mát bằng nước, hệ thống đạt được tốc độ lắng đọng cao trong khi vẫn duy trì môi trường chân không-không bị nhiễm bẩn.

Nhắm mục tiêu vào các dây chuyền sản xuất và phòng thí nghiệm nghiên cứu tiên tiến, nền tảng này hỗ trợ chế tạo màng mỏng nhiều-lớp-với khả năng kiểm soát tốc độ chính xác, giúp nền tảng này phù hợp với các bộ lọc nhiễu quang học, kim loại hóa chất bán dẫn và lớp phủ-chống mài mòn.

Độ lệch chùm từ:Hình dạng súng e-uốn cong 270 độ giữ cho dây tóc được bảo vệ khỏi sự phun ra của vật liệu-của-tầm nhìn trực tiếp, ngăn ngừa đoản mạch và suy thoái dây tóc.

Đã đóng-Kiểm soát tốc độ vòng lặp:Tích hợp các cảm biến tinh thể thạch anh đa kênh với đầu ra thuật toán đạo hàm-tích phân{2}} (PID) tỷ lệ để điều chỉnh dòng phát xạ điện tử và tốc độ lắng đọng một cách linh hoạt.

Sàn nồi nấu mô-đun:Cơ chế lập chỉ mục sử dụng phương pháp tiếp liệu chất lỏng sắt và động cơ bước truyền động-trực tiếp để chuyển đổi nồi nấu kim loại-nhanh, không có hạt trong chân không.

Kiến trúc an toàn lồng vào nhau:Khóa liên động cấp phần cứng-giám sát lưu lượng nước làm mát, ngưỡng chân không và trạng thái cửa buồng để bảo vệ người vận hành và các bộ phận-điện áp cao.

Cụm phụ{0}}chân không được thiết kế để làm sạch cơ bản và đạp xe nhanh chóng:

Gia công thô & đường trước:Bơm cuộn khô không dầu-(công suất: 30 m³/h) loại bỏ dòng hydrocarbon chảy ngược vào buồng chính.

Độ chân không cao:Bơm phân tử turbo{0}}hỗn hợp được hỗ trợ bởi van cổng điện khí nén và van góc khí nén.

Giám sát áp suất:Máy đo ion Alpert và Pirani-kết hợp cung cấp phản hồi theo thời gian thực-trong khí quyển tới chân không cực-cao (10⁻⁹ Torr).

Khả năng nướng:Bộ sưởi hồng ngoại thạch anh tùy chọn hoặc bộ sưởi áo khoác cho phép khử khí nhiệt trong buồng để đạt ngưỡng áp suất cơ bản nhanh hơn.

Tài liệu nguồn được hỗ trợ
Kim loại chịu lửa:Ti, Ta, W, Mo, Cr, Ni, Au, Ag, Al, Cu.

Điện môi & Oxit:SiO₂, TiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃, HfO₂, Nb₂O₅.

Khả năng tương thích cơ chất
Tấm bán dẫn:Silicon 2 inch đến 8 inch, GaAs, sapphire.

Chất nền quang học:Thấu kính/lăng kính silica nung chảy, BK7, Zerodur, germanium và kẽm.

Chất nền linh hoạt:Màng polyimide (thông qua cuộn-đến-cuộn chuyên dụng hoặc thiết bị cố định tấm mang).

Quang học laze:Sự lắng đọng của các ngăn xếp điện môi-tán xạ thấp,-laser-thiệt hại-ngưỡng (LIDT) thấp (TiO₂/SiO₂) cho gương và bộ tách chùm có công suất-cao.

Chất bán dẫn & Vi điện tử:Lắng đọng kim loại cổng, hình thành tiếp xúc ohmic và loại bỏ-các quá trình kim loại hóa cho các thiết bị và cảm biến riêng biệt.

Quang điện tử:Các lớp oxit dẫn điện trong suốt (TCO) và sự bay hơi cực âm kim loại để chế tạo OLED và tế bào quang điện.

Mỗi môi trường sản xuất đều có những ràng buộc về bố cục và tích hợp riêng. Sửa đổi kỹ thuật nhà máy bao gồm:

Hình học buồng:Vị trí cổng tùy chỉnh để-chẩn đoán tại chỗ (ví dụ: Ellipsometry, SIMS hoặc RHEED).

Tải-Tích hợp khóa:Cánh tay chuyển từ tính tuyến tính hoặc chuyển càng nâng bằng khí nén tự động để kết nối với các công cụ cụm hoặc dây chuyền hộp đựng găng tay.

Xu hướng và sưởi ấm chất nền:Bộ nguồn phân cực RF/DC dành cho sự lắng đọng ion-được hỗ trợ (IAD) và làm nóng chất nền lên tới 800 độ .

Bản địa hóa PLC & HMI:Siemens S7 hoặc Allen-Cấu trúc điều khiển PLC Bradley đáp ứng các giao thức tự động hóa nhà máy cụ thể.

Kiểm tra rò rỉ:Mọi buồng hàn bằng thép không gỉ đều được máy quang phổ khối heli rò rỉ-được kiểm tra ở độ nhạy < 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s trước khi lắp ráp.

Kiểm tra cách điện cao áp-:Bộ cấp nguồn cho súng E{0}}được thử nghiệm khả năng chịu điện môi ở điện áp định mức 1,5× cộng với 1000V trong 60 giây.

Kiểm tra nghiệm thu tại nhà máy (FAT):Các hệ thống trải qua thử nghiệm đốt cháy liên tục 72-giờ{2}}, xác minh đường cong tốc độ bơm, hiệu chuẩn quét súng điện tử và độ đồng đều của độ dày màng trên các chất nền thử nghiệm trước khi đóng thùng.

Gói tài liệu:Hướng dẫn sử dụng toàn diện bao gồm sơ đồ điện, sơ đồ P&ID, mã nguồn PLC, bảng dữ liệu an toàn vật liệu và chứng chỉ hiệu chuẩn.

Trên-Dịch vụ trên trang web:-Các kỹ sư dịch vụ được nhà máy chứng nhận xử lý việc lắp ráp cơ khí, kết nối tiện ích (nước làm mát, khí thải, nguồn điện) và thử nghiệm nghiệm thu tại hiện trường (SAT).

Chẩn đoán từ xa:Tích hợp bộ định tuyến VPN an toàn cho phép khắc phục sự cố từ xa, tối ưu hóa tham số và cập nhật phần mềm bởi các kỹ sư quy trình cấp cao.