Tổng quan về sản phẩm
Thiết bị màng mỏng tổng hợp PVD là một nền tảng lắng đọng chân không công nghiệp được thiết kế để lắng đọng các màng mỏng nhiều lớp, hợp kim và nanocompozit. Tích hợp các nguồn phún xạ magnetron và hồ quang catốt trong một buồng chân không duy nhất, hệ thống này cho phép kiểm soát chính xác cấu trúc vi mô của màng, ứng suất dư và độ bám dính bề mặt. Được xây dựng để phục vụ sản xuất liên tục và R&D tiên tiến, nền tảng này chứa các chất nền kim loại, gốm và polymer với hình dạng buồng có thể mở rộng.
-
![Thiết bị lắng đọng chân không composite PVD]()
Thiết bị lắng đọng chân không composite PVDNền tảng lắng đọng chân không hỗn hợp PVD công nghiệp này tích hợp nhiều kỹ thuật lắng đọng vào môi trường buồng đơn để lắng đọng các màng mỏng kim loại, hợp kim hoặc điện môi đồng nhất, nhiều...Xem thêm -
![Hệ thống lắng đọng màng mỏng PVD Hybrid]()
Hệ thống lắng đọng màng mỏng PVD HybridHệ thống lắng đọng màng mỏng lai PVD tích hợp quá trình bay hơi nhiệt, bay hơi chùm tia điện tử (chùm tia điện tử) và phún xạ từ RF/DC trong một kiến trúc chân không duy nhất. Nền tảng này cho...Xem thêm -
![Thiết bị xử lý màng mỏng PVD Multi-]()
Thiết bị xử lý màng mỏng PVD Multi-Thiết bị màng mỏng đa quy trình-PVD là một nền tảng lắng đọng chân không tích hợp được thiết kế để kết hợp nhiều kỹ thuật chế tạo màng mỏng—bao gồm phún xạ nam châm RF/DC, bay hơi nhiệt và bay hơi...Xem thêm -
![Thiết bị lắng đọng composite PVD]()
Thiết bị lắng đọng composite PVDThiết bị lắng đọng hỗn hợp PVD công nghiệp được thiết kế để chế tạo màng mỏng đa-thành phần, nhiều-và nano-hỗn hợp-. Hệ thống tích hợp sự bay hơi nhiệt, bay hơi chùm tia điện tử và các nguồn phún...Xem thêm -
![Hệ thống màng mỏng tổng hợp PVD]()
Hệ thống màng mỏng tổng hợp PVDHệ thống phủ chân không cấp công nghiệp- tích hợp phún xạ magnetron (RF/DC/HiPIMS) và bay hơi hồ quang catốt. Được thiết kế để lắng đọng màng mỏng liên tục, nhiều{2}}lớp, hợp kim và...Xem thêm -
![Thiết bị màng mỏng tổng hợp PVD]()
Thiết bị màng mỏng tổng hợp PVDThiết bị màng mỏng tổng hợp PVD là một nền tảng chân không công nghiệp được thiết kế để tổng hợp các màng mỏng nhiều lớp, hợp kim và phân loại. Được xây dựng trên kiến trúc thép không gỉ...Xem thêm
Thông số kỹ thuật
|
tham số |
Phạm vi đặc điểm kỹ thuật |
|
Áp suất chân không tối đa |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Áp suất làm việc |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Nhiệt độ bề mặt |
Môi trường xung quanh tới 800 độ (Điều khiển PID-vòng kín) |
|
Nguồn lắng đọng |
Có thể định cấu hình: phún xạ Magnetron DC/RF, DC xung, hồ quang Cathodic được lọc |
|
Độ dày đồng đều |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Vật liệu buồng |
Thép không gỉ 304L/316L, được mài cơ học và đánh bóng bằng điện- (Ra<= 0.4 um) |
|
Tích hợp nguồn điện |
Máy phát MF (10-100 kHz), máy phát RF (13,56 MHz), Độ lệch DC xung |
|
Hệ thống điều khiển |
PLC + IPC công nghiệp với khả năng thực hiện công thức tự động, giám sát khóa liên động và ghi dữ liệu hàng loạt |
Quá trình lắng đọng hỗn hợp
Hệ thống này sử dụng kiến trúc lắng đọng hơi vật lý lai kết hợp công nghệ phún xạ magnetron và hồ quang catốt.
Sức mạnh tổng hợp đa nguồn:
Hoạt động đồng thời hoặc tuần tự của nhiều cực âm cho phép chuyển đổi thành phần đột ngột hoặc phân loại trên toàn bộ màng.
Làm sạch trước khi khắc ion{0}}:
Các giai đoạn làm sạch bằng plasma RF hoặc DC loại bỏ các oxit tự nhiên và chất gây ô nhiễm bề mặt trước khi lắng đọng để tối đa hóa độ bám dính của lớp phủ-với-chất nền.
Kiểm soát lắng đọng phản ứng:
Quang phổ phát xạ quang học vòng -đóng (OES) điều chỉnh việc phun khí phản ứng (O2, N2, C2H2) để duy trì phép cân bằng hóa học hợp chất ổn định và ngăn ngừa ngộ độc mục tiêu.
Xu hướng cơ chất:
Các nguồn cung cấp năng lượng phân cực xung đồng bộ hóa bắn phá màng đang phát triển bằng các ion năng lượng-cao, làm đặc cấu trúc vi mô và điều chỉnh ứng suất nén dư.
Chất liệu phim
Thiết bị hỗ trợ nhiều loại vật liệu mục tiêu cho các yêu cầu chức năng phù hợp:
Nitrua kim loại chuyển tiếp & cacbua:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN để chống mài mòn và ăn mòn.
Hệ thống nanocompozit & đa lớp:
Lớp nano TiSiN, AlTiSiN, kim loại/gốm cho độ cứng cực cao và độ ổn định nhiệt-ở nhiệt độ cao.
Oxit dẫn điện trong suốt (TCO):
ITO, AZO, IGZO cho các ứng dụng quang điện tử và quang điện.
Kim loại & Hợp kim nguyên chất:
Ti, Cr, Al, Cu, Thép không gỉ, NiCr cho các lớp rào cản tiếp xúc điện và khuếch tán.
Ứng dụng
Dụng cụ cắt chính xác:
Sự lắng đọng các lớp phủ siêu -cứng, ma sát thấp-(ví dụ: TiAlN) trên hạt dao cacbit, mũi khoan và dao phay-để kéo dài tuổi thọ hoạt động dưới tải nhiệt cao.
Linh kiện ô tô:
Màng giảm ma sát-và chống mài mòn-trên các vòng piston, bộ phận phun nhiên liệu và cụm bánh răng.
Quang điện tử & Hiển thị:
Các lớp oxit dẫn điện có-điện trở suất thấp,-có độ truyền dẫn cao dành cho bảng cảm ứng và đế pin mặt trời.
Thiết bị y tế:
Lớp phủ tương thích sinh học và chống mài mòn-trên dụng cụ phẫu thuật và thiết bị cấy ghép chỉnh hình.
Tùy chỉnh & Cấu hình hệ thống
Cấu hình kỹ thuật được điều chỉnh phù hợp với các hạn chế cụ thể của cơ sở sản xuất và công thức quy trình:
Kích thước buồng:
Các tùy chọn buồng hình trụ hoặc hình chữ nhật, từ hệ thống lô R&D (đường kính 500 mm) đến hệ thống khóa-tải sản xuất quy mô lớn{2}}(1000 mm+).
01
Lựa chọn bộ bơm:
Phù hợp với máy thổi rễ, máy bơm tua-bin phân tử và máy bơm đông lạnh dựa trên-thời gian ngừng hoạt động bơm cần thiết và cấu hình tải khí.
02
Cố định chất nền:
Các giai đoạn xoay hành tinh được tùy chỉnh, xoay vệ tinh 3-trục hoặc mô-đun cuộn{2}}cuộn được thiết kế cho hình học 3D phức tạp hoặc các trang web liên tục.
03
Cấp độ tự động hóa:
Cấu hình tải thủ công bán tự động hoặc hệ thống chuyển chân không hoàn toàn tự động với khả năng xử lý bề mặt bằng rô-bốt.
04
Sản xuất & Kiểm soát Chất lượng
Phát hiện rò rỉ:
Mỗi buồng chân không đều trải qua thử nghiệm rò rỉ khối phổ kế helium đến ngưỡng <1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.
Kiểm tra mối hàn:
Các mối hàn bên chân không-được hàn TIG, mài và đánh bóng, sau đó là kiểm tra chất thẩm thấu bằng tia X hoặc thuốc nhuộm theo yêu cầu.
Tuân thủ về Điện & An toàn:
Bảng điều khiển được xây dựng theo tiêu chuẩn NFPA 79 hoặc CE/IEC, có khóa liên động phần cứng về lưu lượng nước, áp suất khí và an toàn điện.
Kiểm tra chấp nhận tại nhà máy (FAT):
Thử nghiệm trước{0}}giao hàng bao gồm chu trình chạy khô liên tục trong 72-giờ{3}}, xác minh hiệu suất chân không và thử nghiệm lắng đọng lớp phủ bằng công thức do khách hàng chỉ định.
Hướng dẫn chuẩn bị trang web:Tài liệu yêu cầu cơ sở toàn diện cung cấp chi tiết các giao diện tiện ích (lưu lượng/áp suất nước làm mát, tải điện, khí nén, khí thải).
Trên-Vận hành tại chỗ:Các kỹ sư dịch vụ hiện trường thực hiện việc căn chỉnh cơ học, kiểm tra rò rỉ chân không, nối điện{0}}và hiệu chuẩn ban đầu.
Điều chỉnh công thức quy trình:-Cộng tác tại chỗ với các nhà luyện kim và kỹ sư xử lý của khách hàng để xác định các thông số độ dày, ứng suất và độ cứng mục tiêu của màng.
Hỗ trợ vòng đời:Giao diện chẩn đoán từ xa, kho phụ tùng thay thế cục bộ và các chương trình bảo trì phòng ngừa theo lịch trình.
Câu hỏi thường gặp
Chúng tôi-nổi tiếng là một trong những nhà sản xuất và cung cấp thiết bị màng mỏng pvd composite hàng đầu tại Trung Quốc. Nếu bạn định mua thiết bị màng mỏng composite pvd tùy chỉnh được sản xuất tại Trung Quốc, vui lòng nhận bảng giá từ nhà máy của chúng tôi. Để được tư vấn về giá, hãy liên hệ với chúng tôi.
