Thiết bị màng mỏng tổng hợp PVD

Thiết bị màng mỏng tổng hợp PVD là một nền tảng chân không công nghiệp được thiết kế để tổng hợp các màng mỏng nhiều lớp, hợp kim và phân loại. Được xây dựng trên kiến ​​trúc thép không gỉ 304L/316L dạng mô-đun, nó tích hợp tối đa bốn nguồn lắng đọng độc lập-bao gồm phún xạ magnetron DC/RF, sự bay hơi chùm tia điện tử và nguồn nhiệt-vào một buồng được kiểm soát ô nhiễm-. Hệ thống này cung cấp khả năng kiểm soát chính xác cấu trúc vi mô của màng, ứng suất dư và độ dốc thành phần cho dây chuyền sản xuất và hoạt động R&D tiên tiến.

Kiến trúc nguồn đa{0}}mô-đun:Thực hiện lắng đọng tuần tự hoặc đồng thời từ tối đa bốn nguồn trong một chu kỳ chân không.

Tính toàn vẹn của chân không siêu sạch:Sử dụng mặt bích CF kín-bằng kim loại, van cổng khí nén và bơm phân tử/gia công thô không dầu-để ngăn chặn ô nhiễm hydrocarbon.

Xu hướng nền tảng động:Xu hướng RF/DC tần số thay đổi kiểm soát năng lượng ion tới để điều chỉnh mật độ, độ cứng và ứng suất của màng.

Kiểm soát công thức tự động:PLC công nghiệp và HMI lưu trữ tới 200 cấu hình quy trình, tự động-hạ máy bơm, kích hoạt cửa chớp và thông gió.

Cổng giám sát-tại chỗ:Mặt bích được định cấu hình sẵn-có chứa cảm biến độ dày QCM và máy quang phổ phát xạ quang học (OES).

Ngăn bơm:Máy bơm gia công thô trục vít/rễ không dầu kết hợp với máy bơm tua-bin hoặc máy bơm lạnh được tăng cường từ tính đạt 5 x 10^-6 Pa từ khí quyển trong vòng 45 phút.

Cung cấp khí:Bộ điều khiển lưu lượng lớn (MFC) điều chỉnh Ar, O2 và N2 với độ chính xác toàn thang ±1%; máy lọc tích hợp duy trì độ tinh khiết của khí 99,9999%.

Quản lý nhiệt:Thân buồng có các kênh làm mát-nước{1}}thành kép để ổn định kích thước cấu trúc khi chạy-nhiệt độ cao.

Chất bán dẫn:Các lớp rào chắn, các lớp hạt giống và các ngăn kim loại kết nối với nhau.

Quang học:Bộ lọc nhiễu quang học, lớp phủ chống{0}}phản chiếu (AR) và gương phản chiếu-cao.

Bảo vệ chống mài mòn:Lớp phủ cứng nhiều lớp cho dụng cụ cắt và các bộ phận hàng không vũ trụ.

Lưu trữ năng lượng:Màng mỏng dành cho chất điện phân-ở trạng thái rắn của pin và bộ thu dòng điện.

Hình học buồng:Sửa đổi kích thước bên trong hoặc góc cổng để phù hợp với đế cắm phần cứng hoặc hộp đựng găng tay truyền thống.

Thích ứng nguồn:Tích hợp các xếp hạng súng bắn tia điện tử, chiều dài máy phát cao tần hoặc thuyền nhiệt cụ thể.

Tích hợp phần mềm:Cấu hình logic PLC để phù hợp với các giao thức SCADA của cơ sở hoặc các tiêu chuẩn SECS/GEM.

Phát hiện rò rỉ:Thử nghiệm bằng khối phổ kế khí helium đã xác minh ở mức 1 x 10^-10 Pa·m³/s.

An toàn điện:Tính liên tục của mặt đất, điện trở cách điện và xác minh E{0}}dừng theo tiêu chuẩn CE/NFPA.

Trước{0}}Chạy lô hàng:Quá trình lắng đọng thử nghiệm tại nhà máy xác minh áp suất cơ bản, độ ổn định của nguồn và độ đồng đều của độ dày; bảng dữ liệu được gửi kèm theo thiết bị.

Tài liệu:Hoàn thành sơ đồ điện, sơ đồ P&ID, hướng dẫn vận hành PLC và chứng chỉ hiệu chuẩn.

Chấp nhận của nhà máy (FAT):Quá trình kiểm tra và xác nhận của khách hàng diễn ra tại sàn sản xuất của chúng tôi trước khi đóng thùng.

Vận hành (SAT):Các kỹ sư hiện trường giám sát việc căn chỉnh cơ khí, kết nối tiện ích và-kiểm tra nghiệm thu tại chỗ.