Thiết bị khắc khôlà một giải pháp hiệu suất cao-để xử lý vật liệu chính xác trong nhiều ngành khác nhau. Sử dụng nâng caokhắc ion phản ứng (RIE)công nghệ này, thiết bị này đạt được khả năng ăn mòn không-tiếp xúc, không để lại-không có hóa chất lỏng, khiến thiết bị trở nên lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu độ chính xác ở cấp độ micron-và tuân thủ môi trường.
Đổi mới kỹ thuật:
Khả năng khắc dị hướng
- Hệ thống này kết hợp các phản ứng hóa học (các loài được kích hoạt bằng huyết tương) với sự bắn phá ion định hướng, cho phép tạo ra các cấu hình khắc dọc chính xác. Điều này rất quan trọng để tạo ra các cấu trúc vi mô trên kim loại (ví dụ: thép không gỉ, hợp kim titan), gốm sứ (Al₂O₃, SiC) và polyme (PEEK, PTFE).
- Khắc đồng đềuđược duy trì trong phạm vi ±5% trên các chất nền có đường kính lên tới 800 mm, ngay cả đối với các hình dạng phức tạp.
Thiết kế mô-đun & Khả năng mở rộng
- Nhiều cấu hình nguồn ion: Thiết bị hỗ trợ các nguồn ion kết hợp tuyến tính, tròn hoặc tần số vô tuyến-, cho phép xử lý đồng thời nhiều phôi.
- Các thông số quá trình có thể điều chỉnh: Năng lượng ion (50–500 eV) và mật độ plasma (10¹⁰–10¹² cm⁻³) có thể được tối ưu hóa để cân bằng tốc độ ăn mòn (lên tới 30 nm/phút) và độ mịn bề mặt (Ra < 0,1 μm).
Hoạt động thân thiện với môi trường-
- Không có chất thải lỏng: Không giống như khắc ướt, quy trình khô giúp loại bỏ việc xử lý hóa chất nguy hiểm.
- thiết kế tiết kiệm năng lượng-: Mức tiêu thụ điện 10 kW thấp hơn 30% so với các hệ thống truyền thống, với khả năng tản nhiệt được quản lý thông qua hệ thống làm mát bằng nước tinh khiết vòng-vòng kín ( Tốc độ dòng chảy lớn hơn hoặc bằng 4 m³/h).
Kiểm soát quy trình nâng cao
- Giám sát thời gian thực-: Hệ thống điều khiển dựa trên PC-tích hợp theo dõi mức chân không (áp suất cơ bản Nhỏ hơn hoặc bằng 5,0×10⁻⁴ Pa), tốc độ dòng khí và độ ổn định của chùm ion.
- Giao thức an toàn tự động: Cơ chế bảo vệ quá tải, ngăn chặn hồ quang và tắt khẩn cấp đảm bảo an toàn vận hành.
Hiệu suất khắc trước- và sau-
- Trước{0}}Khắc: Các bề mặt có thể xuất hiện các lớp oxy hóa, cặn hữu cơ hoặc kết cấu không đồng đều, làm ảnh hưởng đến độ bám dính của lớp phủ hoặc hiệu suất chức năng.
- Đăng-Khắc: Đạt được bề mặt sạch,{0}}không có khuyết tật với độ nhám được kiểm soát, tăng cường các quy trình tiếp theo như phủ PVD, liên kết hoặc in.
Ứng dụng:
- Quang học: Khắc các vi cấu trúc chống phản chiếu-trên ống kính và bảng hiển thị.
- Dụng cụ chính xác: Tạo nhám bề mặt của dụng cụ và khuôn để cải thiện khả năng chống mài mòn.
- Linh kiện năng lượng mới: Cấu trúc các điện cực cho hệ thống pin và pin nhiên liệu.
Chú phổ biến: thiết bị khắc khô, nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy thiết bị khắc khô Trung Quốc
