Tổng quan về sản phẩm
Thiết bị mạ ion đa hồ quang công nghiệp-được thiết kế để phủ lớp phủ cứng, màng chức năng và lớp hoàn thiện PVD trang trí trên các bộ phận chính xác. Bằng cách sử dụng dòng phóng điện hồ quang chân không có điện áp cao-,-thấp, hệ thống làm bay hơi trực tiếp các vật liệu mục tiêu rắn (Ti, Cr, Al, Zr). Khi kết hợp với các khí phản ứng (N2, O2, C2H2), nó tổng hợp trực tiếp các nitrua kim loại chuyển tiếp dày đặc, cacbua và oxit trên nền kim loại.
Được xây dựng trên kiến trúc buồng chân không mô-đun, giải pháp PVD chìa khóa trao tay này đáp ứng các quy mô sản xuất khác nhau-từ xử lý hàng loạt R&D đến sản xuất nội tuyến-thông lượng cao, tự động hóa. Hệ thống được tối ưu hóa để đạt mục tiêu sử dụng cao và Tổng chi phí sở hữu (TCO) thấp trong môi trường công nghiệp liên tục 24/7.
-
![Thiết bị lắng đọng chân không hồ quang đa-]()
Thiết bị lắng đọng chân không hồ quang đa-Hệ thống lắng đọng chân không đa hồ quang này sử dụng công nghệ mạ ion hồ quang catôt để lắng đọng các lớp phủ cứng dày đặc, có độ bám dính cao-trên nền kim loại và phi kim loại. Bằng cách chiếu...Xem thêm -
![Hệ thống lắng đọng ion đa hồ quang]()
Hệ thống lắng đọng ion đa hồ quangThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Ion hóa 80% vật liệu catốt rắn,...Xem thêm -
![Thiết bị màng mỏng Multi{0}}Arc PVD]()
Thiết bị màng mỏng Multi{0}}Arc PVDHệ thống PVD hồ quang đa-công nghiệp sử dụng quá trình lắng đọng hơi vật lý hồ quang catốt-có độ ion hóa cao để lắng đọng các lớp phủ cứng đậm đặc, cân bằng hóa học (chẳng hạn như TiN, TiAlN, CrN...Xem thêm -
![Thiết bị lắng đọng ion hồ quang đa-]()
Thiết bị lắng đọng ion hồ quang đa-Hệ thống lắng đọng ion đa hồ quang-công nghiệp tạo ra các màng mỏng dày đặc,-có độ bám dính cao thông qua quá trình bay hơi hồ quang catốt có dòng điện-cao, điện áp-thấp. Vật liệu mục tiêu rắn...Xem thêm -
![Hệ thống màng mỏng ion hồ quang đa-]()
Hệ thống màng mỏng ion hồ quang đa-Hệ thống màng mỏng ion hồ quang đa-công nghiệp sử dụng sự bay hơi hồ quang catôt để lắng đọng các lớp phủ gốm và kim loại có độ bám dính-dày đặc, cao lên nền kim loại và hợp kim. Bằng cách làm bay...Xem thêm -
![Thiết bị màng mỏng ion hồ quang đa-]()
Thiết bị màng mỏng ion hồ quang đa-Hệ thống mạ ion đa hồ quang-này sử dụng sự bay hơi hồ quang catôt để lắng đọng các lớp phủ cứng dày đặc,-có độ bám dính cao và các màng mỏng chức năng. Bằng cách chiếu một hồ quang có điện...Xem thêm
Thông số kỹ thuật
|
tham số |
Phạm vi đặc điểm kỹ thuật |
Đơn vị/Lưu ý |
|
Kích thước buồng |
Ф600 x 600 đến Ф1500 x 1800 |
mm (Cấu hình dọc hoặc ngang tùy chỉnh) |
|
Áp suất chân không tối đa |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (Bộ bơm khô + Turbo-phân tử / Bộ khuếch tán dầu) |
|
Nguồn hồ quang Cathode |
4 đến 16 đơn vị |
Nguồn hồ quang được điều khiển bằng điện từ hoặc được lọc (FCA) |
|
Sức mạnh thiên vị của chất nền |
0 đến -1000 |
V (Khả năng phân cực xung DC / MF nâng cao) |
|
Nhiệt độ sưởi ấm |
Nhiệt độ phòng lên tới 600 |
C (Bộ sưởi bức xạ điều khiển PID) |
|
Tính đồng nhất lắng đọng |
<= +/- 5% |
Được đo thông qua XRF trên vùng làm việc hiệu quả |
|
Hệ thống điều khiển |
PLC + PC công nghiệp |
Thực hiện công thức tự động, ghi dữ liệu SCADA |
|
An toàn & Tuân thủ |
CE, ISO 9001 |
Vỏ điện tuân thủ UL-có sẵn theo yêu cầu |
Trình tự lắng đọng hơi vật lý hoạt động theo quy trình làm việc tự động-vòng khép kín, nghiêm ngặt để đảm bảo khả năng lặp lại từ-đến-lô:
Sơ tán & thoát khí:
Buồng chân không được bơm xuống áp suất cơ bản là<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Khắc plasma (Bắn phá):
Khí Argon được đưa vào. Độ lệch âm cao được áp dụng cho bộ phận giữ chất nền, tạo ra các ion Ar bắn phá bề mặt để loại bỏ các oxit tự nhiên và các chất gây ô nhiễm vi mô.
Sự bay hơi và ion hóa hồ quang:
Dòng điện hồ quang DC đập vào cực âm kim loại rắn. Điểm cực âm cục bộ đạt mật độ năng lượng cực cao, ngay lập tức làm bay hơi vật liệu mục tiêu thành dòng plasma mật độ-cao (tốc độ ion hóa > 80%).
Lắng đọng phản ứng:
Khí phản ứng được bơm vào dòng plasma ở áp suất riêng phần được kiểm soát chính xác thông qua Bộ điều khiển dòng khối (MFC), tạo thành các màng phức hợp cân bằng hóa học trên đế quay.
Làm mát & thông gió:
Quá trình làm mát có kiểm soát diễn ra dưới sự bảo vệ khí trơ trước khi thông gió trong buồng, ngăn ngừa quá trình oxy hóa các bộ phận mới được phủ.
Vật liệu màng & đặc tính lớp phủ
Hệ thống hỗ trợ sắp xếp nhiều-cathode kim loại, cho phép các kiến trúc màng đơn lớp, đa lớp, nano{1}}composite và gradient:
TiN (Titan nitrit):
Lớp phủ vàng tiêu chuẩn; độ cứng 2200–2400 HV; hệ số ma sát 0,4. Công dụng chính: dụng cụ cắt thông thường và các bộ phận cơ khí bị mài mòn.
TiAlN (Titan nhôm Nitrua):
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ-cao lên tới 850 C; độ cứng 3000–3300 HV. Công dụng chính: các hạt dao gia công khô-tốc độ cao và van động cơ.
CrN/CrAlN (Crom Nitrat):
Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và ứng suất bên trong thấp; đặc tính-chống tịch thu đối với kim loại màu-. Công dụng chính: tạo khuôn, vòng piston và linh kiện máy dệt.
ZrN/TiCN:
Độ nhám bề mặt thấp (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Ứng dụng
Dụng cụ cắt chính xác:
Dao phay ngón, máy khoan, dao phay và các hạt dao có thể lập chỉ mục yêu cầu kéo dài tuổi thọ dụng cụ dưới tải nhiệt cao.
01
Hệ thống truyền động ô tô:
Chốt pít-tông, ta-rô, bộ phận phun nhiên liệu và bề mặt bánh răng cần giảm ma sát biên và khả năng chống trầy xước.
02
Khuôn & Khuôn:
Khuôn ép nhựa, khuôn dập và các miếng đệm đúc khuôn yêu cầu khả năng chống mài mòn do dính và mỏi nhiệt.
03
Thành phần hàng không vũ trụ:
Cánh tuabin và ốc vít bằng titan hoạt động trong môi trường có tính ăn mòn mạnh và{0}áp lực cao.
04
Tùy chỉnh & Cấu hình hệ thống
Các mặt hàng trong danh mục tiêu chuẩn hiếm khi phù hợp hoàn hảo với bố cục nhà máy chuyên dụng. Cấu hình thiết bị được điều chỉnh dựa trên hình dạng thành phần cụ thể, mục tiêu thời gian chu kỳ và các hạn chế về cơ sở:
Hình học buồng:
Buồng làm mát bằng thép không gỉ hình bát giác hoặc hình trụ (SUS304/SUS316L) có áo làm mát bằng nước có-thành{3}}đôi.
Bố cục nguồn:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Cố định chất nền:
Cơ chế quay hành tinh (3{1}}trục) hoặc cơ chế quay đơn được điều khiển bởi sự truyền chất lỏng từ tính để đảm bảo độ bao phủ lớp phủ đồng nhất trên các hình học 3D phức tạp.
Tùy chọn ngăn xếp bơm:
Máy thổi rễ, máy bơm cánh gạt quay, máy bơm đông lạnh hoặc máy bơm tua-bin phân tử được định cấu hình để đáp ứng thời gian chu kỳ bơm-nghiêm ngặt.
Quy trình kiểm tra và kiểm soát chất lượng
Mọi máy đều trải qua quá trình Kiểm tra Chấp nhận tại Nhà máy (FAT) nghiêm ngặt trước khi gửi đi, được ghi lại để người mua xem xét:
01
Kiểm tra tính toàn vẹn chân không:
Phát hiện rò rỉ khí heli bằng phương pháp quang phổ khối (tốc độ rò rỉ<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
An toàn điện và cháy nổ-trong:
72 giờ chạy khô liên tục của nguồn điện, khóa liên động làm mát bằng nước và logic tự động hóa PLC.
03
Xác minh lớp phủ (Phòng thí nghiệm-nội bộ):
Các lần chạy mẫu được thử nghiệm thông qua phép thử Calo-(độ dày màng), vết lõm Rockwell (cường độ bám dính) và vết lõm nano (độ cứng).
Hỗ trợ lắp đặt, vận hành và kỹ thuật
Hướng dẫn chuẩn bị trang web:
Bản vẽ bố trí tiện ích chi tiết được cung cấp cho các yêu cầu về lưu lượng/áp suất nước làm mát, khí nén, thông gió thải và thanh cái điện.
SAT & Vận hành:
-Cài đặt tại chỗ (Kiểm tra chấp nhận tại chỗ), hiệu chuẩn chân không và chuyển giao công thức cơ sở do các kỹ sư xử lý PVD cấp cao thực hiện.
Quy trình đào tạo:
Đào tạo-thực hành cho người vận hành bao gồm lịch trình thay thế cực âm, bảo trì chân không phòng ngừa, khắc phục sự cố và tối ưu hóa công thức cơ bản.
Hỗ trợ phụ tùng:
Các bộ phận bị mài mòn nghiêm trọng (cực âm, tấm chắn, chất cách điện và vòng đệm) được dự trữ để vận chuyển toàn cầu trong vòng 48 giờ.
Câu hỏi thường gặp
Chúng tôi-nổi tiếng là một trong những-nhà sản xuất và cung cấp thiết bị màng mỏng ion đa hồ quang hàng đầu tại Trung Quốc. Nếu bạn định mua thiết bị màng mỏng ion đa hồ quang-tùy chỉnh được sản xuất tại Trung Quốc, vui lòng nhận bảng giá từ nhà máy của chúng tôi. Để được tư vấn về giá, hãy liên hệ với chúng tôi.
