Tổng quan về sản phẩm
Hệ thống bay hơi hồ quang Cathodic công nghiệp là một nền tảng-lắng đọng hơi vật lý (PVD) cấp sản xuất được thiết kế để lắng đọng các lớp phủ cứng cứng-chống mài mòn, chống ăn mòn-và ma sát-thấp. Bằng cách sử dụng hồ quang điện có điện áp-thấp, dòng điện-cao, các mục tiêu cực âm rắn bị bay hơi và ion hóa ngay lập tức tại điểm cực âm, tạo ra plasma kim loại có độ ion hóa cao.
Được thiết kế và sản xuất theo tiêu chuẩn quản lý chất lượng ISO 9001 và chỉ thị tuân thủ CE, hệ thống này được định cấu hình cho các hoạt động phủ-thông lượng cao trong sản xuất công cụ, linh kiện ô tô và lĩnh vực phần cứng công nghiệp. Cấu hình tiêu chuẩn tích hợp bố cục nhiều-cathode với khả năng điều khiển từ trường-độc lập, nguồn điện phân cực DC/xung có thể lập trình và điều khiển chân không tự động để duy trì phép cân bằng hóa học màng nhất quán và cấu trúc vi mô dày đặc.
-
![Thiết bị PVD bay hơi hồ quang]()
Thiết bị PVD bay hơi hồ quangHệ thống PVD bay hơi hồ quang catốt công nghiệp sử dụng hồ quang điện-điện áp thấp, dòng điện-cao để làm bay hơi các mục tiêu catốt rắn trong môi trường chân không. Cơ chế này đạt tỷ lệ ion hóa...Xem thêm -
![Hệ thống màng mỏng hồ quang chân không]()
Hệ thống màng mỏng hồ quang chân khôngHệ thống màng mỏng hồ quang chân không công nghiệp sử dụng sự bay hơi hồ quang catốt để lắng đọng các màng mỏng kim loại, hợp kim và gốm dày đặc, có độ bám dính cao. Hồ quang có-dòng điện-cao,...Xem thêm -
![Thiết bị màng mỏng hồ quang Cathodic]()
Thiết bị màng mỏng hồ quang CathodicHệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD) sử dụng hồ quang điện có dòng điện cao-, điện áp-cao- cục bộ để làm bay hơi các mục tiêu cực âm rắn thành plasma bị ion hóa hoàn toàn. Tốc độ ion hóa cao...Xem thêm -
![Thiết bị lắng đọng bay hơi hồ quang]()
Thiết bị lắng đọng bay hơi hồ quangNền tảng lắng đọng hơi vật lý công nghiệp (PVD) được thiết kế để tổng hợp-tốc độ cao các lớp phủ cứng dày đặc,{1}}chống mài mòn và có chức năng. Việc duy trì dòng điện hồ quang catốt có điện áp...Xem thêm -
![Thiết bị màng mỏng bay hơi hồ quang]()
Thiết bị màng mỏng bay hơi hồ quangHệ thống bay hơi hồ quang catôt này làm bay hơi các mục tiêu cathode rắn thông qua hồ quang điện-điện áp thấp, dòng điện-cao để tạo ra plasma kim loại bị ion hóa hoàn toàn. So với quá trình bay...Xem thêm
Thông số kỹ thuật
|
tham số |
Phạm vi thông số kỹ thuật / Cấu hình tiêu chuẩn |
|
Kích thước buồng |
Đường kính: 800 mm - 1800 mm (Bố cục dọc/ngang có thể tùy chỉnh) |
|
Vật liệu buồng |
Thép không gỉ SUS304 vách đôi-có kênh làm mát-nước bên trong |
|
Áp suất chân không tối đa |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Cấu hình cực âm |
4 đến 12 nguồn hồ quang hình chữ nhật/tròn có tay lái điện từ |
|
Cung cấp năng lượng hồ quang |
300A - 500Dòng điện không đổi có thể điều chỉnh, gợn sóng<= 2% |
|
Sức mạnh thiên vị của chất nền |
0 đến -1000V có thể điều chỉnh, tần số phân cực xung 10 kHz - 100 kHz |
|
Hệ thống sưởi ấm |
Mảng gia nhiệt bức xạ, nhiệt độ tối đa 600 độ +/- 5 độ đồng đều |
|
Xoay phôi |
Xoay hành tinh hoặc trục kép- được điều khiển bởi sự truyền chất lỏng từ tính |
|
Hệ thống điều khiển |
PLC + PC công nghiệp, điều khiển trình tự tự động-theo công thức |
|
Yêu cầu tiện ích |
Nước làm mát: 0,25-0,35 MPa, 20-25 độ; Nguồn điện: 380V/480V, 3 pha, 50/60 Hz |
Quá trình bay hơi hồ quang
Chu trình lắng đọng hoạt động dưới sự kiểm soát quy trình nghiêm ngặt để đảm bảo tính toàn vẹn của màng và độ bám dính bề mặt:
Sơ tán & thoát khí:
Buồng chân không được bơm xuống áp suất cơ bản. Chất nền được làm nóng trong chân không để loại bỏ chất dễ bay hơi trên bề mặt và độ ẩm còn sót lại.
01
Khắc plasma (Làm sạch):
Việc bắn phá ion kim loại (sử dụng nguồn mục tiêu titan hoặc crom) làm sạch bề mặt chất nền ở cấp độ nguyên tử, loại bỏ các oxit tự nhiên và kích hoạt giao diện.
02
Lắng đọng phản ứng:
Các khí phản ứng (N2, CH4, O2) được bơm vào buồng thông qua bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) để phản ứng với dòng plasma kim loại (ví dụ Ti, Cr, AlTi), tạo thành các màng phức hợp như TiN, TiAlN hoặc CrN.
03
Làm mát & thông gió:
Quá trình làm mát-lắng đọng sau xảy ra trong môi trường khí trơ bảo vệ trước khi thông hơi trong buồng và thu hồi bộ phận.
04
Mục tiêu Cathode được hỗ trợ
Titan (Ti) & Nhôm Titan (TiAl):Vật liệu cơ bản cho lớp phủ TiN tiêu chuẩn và lớp phủ TiAlN có-khả năng chống oxy hóa{1}}cao (chịu được quá trình oxy hóa lên đến 900 độ ).
Crom (Cr):Được sử dụng để hoàn thiện trang trí và-các lớp CrN/CrC chống ăn mòn.
Zirconi (Zr) & Titan Silicon (TiSi):Áp dụng cho màng nanocompozit trang trí chuyên dụng và-có khả năng chống mài mòn cao.
Vật liệu nền tương thích
Thép tốc độ cao-(HSS):Máy khoan xoắn, máy phay ngón, dao phay và máy chuốt.
Cacbua xi măng (WC{0}}Co):Các hạt dao, dao doa và khuôn định hình có thể lập chỉ mục.
Thép & Hợp kim Kỹ thuật:Các bộ phận van ô tô, bánh răng, thiết bị vệ sinh bằng thép không gỉ và bộ phận cấy ghép y tế bằng titan.
Tác động của ứng dụng & hiệu suất
Dụng cụ cắt kim loại:
Sự lắng đọng lớp phủ TiAlN và AlCrN trên hạt dao cacbua và dao phay ngón, kéo dài tuổi thọ dụng cụ từ 200% đến 300% và cho phép gia công-tốc độ cao khô.
Khuôn định hình & dập:
Áp dụng lớp phủ dày đặc, ma sát thấp-để giảm sự mài mòn của chất kết dính, hiện tượng lõm và dính phôi trong quá trình kéo sâu, giảm thời gian ngừng hoạt động lên tới 40%.
Hệ thống truyền động ô tô:
Xử lý các xéc măng, chốt phun nhiên liệu và tarô để giảm thiểu hệ số ma sát biên xuống < 0,15 và chống mài mòn.
Phần cứng công nghiệp & vòi vệ sinh:
Các lớp PVD trang trí cứng (vàng TiN, vàng hồng, zirconi đen) đã vượt qua thử nghiệm phun muối trung tính tối thiểu 500 giờ (ASTM B117).
Tùy chỉnh & Cấu hình quy trình
Quy mô bố trí thiết bị theo khối lượng sản xuất, hình dạng bộ phận và diện tích nhà máy:
Hình học buồng:
Cấu trúc tải thẳng đứng cho các dụng cụ nặng; cấu hình hàng loạt theo chiều ngang để tải-thiết bị có công suất cao.
Tích hợp nguồn:
Cấu hình kết hợp kết hợp các nguồn hồ quang catôt với catôt phún xạ magnetron không cân bằng (RMS) để tạo ra các kiến trúc nhiều lớp mịn, không có giọt nước.
Hệ thống lọc:
Các bộ lọc hạt vĩ mô từ tính tùy chọn (bộ lọc hồ quang định hướng) được lắp đặt trên các kênh cực âm để loại bỏ các giọt vĩ mô-cho các lớp phủ chức năng có độ chính xác quang học hoặc siêu mịn.
Giao diện tự động hóa:
Tích hợp-sẵn sàng cho cánh tay tải robot và dàn dựng hàng loạt xe có hướng dẫn tự động (AGV).
Tính toàn vẹn về cấu trúc:Thân buồng trải qua thử nghiệm rò rỉ khối phổ kế Helium ở ngưỡng độ nhạy<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
An toàn & Tuân thủ Điện:Được xây dựng nghiêm ngặt theo các nguyên tắc an toàn điện của CE và IEC, có tính năng kiểm tra cách điện đầy đủ và khóa liên động an toàn khẩn cấp.
Chức năng Chạy{0}}tắt (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) được xác minh trên phiếu kiểm tra tiêu chuẩn trước khi giao hàng.
Hỗ trợ cài đặt và kỹ thuật
Gói chuẩn bị mặt bằng:
Bản vẽ bố trí tiện ích toàn diện nêu chi tiết tốc độ dòng nước làm mát, hệ thống thông gió thoát khí, khả năng tải sàn và thông số kỹ thuật về sụt điện được cung cấp sau-4 tuần sau hợp đồng.
Trên-Vận hành tại chỗ:
Các kỹ sư quy trình-được nhà máy chứng nhận xử lý việc căn chỉnh cơ học, phát hiện rò rỉ chân không, tích hợp điện và thiết lập công thức cơ bản ban đầu tại cơ sở của khách hàng.
Quy trình chuyển giao công thức:
Việc phân phối bao gồm các công thức cơ bản tiêu chuẩn (TiN, TiAlN, CrN) và đào tạo vận hành cho các nhóm kỹ thuật và bảo trì nội bộ.
Hỗ trợ chẩn đoán từ xa:
Các hệ thống được trang bị cổng bộ định tuyến công nghiệp an toàn để khắc phục sự cố tham số từ xa và chẩn đoán logic PLC.
Câu hỏi thường gặp
Chúng tôi-nổi tiếng là một trong những nhà sản xuất và cung cấp thiết bị màng mỏng bay hơi hồ quang hàng đầu tại Trung Quốc. Nếu bạn định mua thiết bị màng mỏng bay hơi hồ quang tùy chỉnh được sản xuất tại Trung Quốc, vui lòng nhận bảng giá từ nhà máy của chúng tôi. Để được tư vấn về giá, hãy liên hệ với chúng tôi.
