Tổng quan về sản phẩm
Thiết bị màng mỏng bay hơi được hỗ trợ dòng ion-IAE-sê-ri Ion-của IAE tích hợp quá trình lắng đọng hơi vật lý (PVD) với quá trình bắn phá chùm tia ion-thời gian thực. Bằng cách hướng các ion mang năng lượng lên chất nền trong quá trình bay hơi chùm tia nhiệt hoặc chùm tia điện tử, hệ thống sẽ truyền động lượng đến các nguyên tử ngưng tụ, tái cấu trúc cấu trúc vi mô của màng đang phát triển.
Sự truyền động năng này giúp loại bỏ các khoảng trống dạng cột, ngăn chặn sự hấp thụ độ ẩm và khóa chỉ số khúc xạ chống lại sự thay đổi độ ẩm xung quanh. Được xây dựng để vận hành nhiều-ca liên tục trong các dây chuyền sản xuất quang học và bán dẫn, nền tảng này xử lý các chất nền từ quang học laser có độ chính xác cao-đến tấm bán dẫn silicon.
-
![Ion-Thiết bị bay hơi chân không có hỗ trợ ion]()
Ion-Thiết bị bay hơi chân không có hỗ trợ ionHệ thống bay hơi chân không có hỗ trợ ion-tích hợp các nguồn bay hơi-nhiệt chân không hoặc electron{2}}cao với nguồn ion Kaufman-hoặc End{4}}Hall. Bằng cách bắn phá màng đang phát triển bằng khí...Xem thêm -
![Hệ thống lắng đọng màng mỏng được hỗ trợ bởi ion-]()
Hệ thống lắng đọng màng mỏng được hỗ trợ bởi ion-Hệ thống lắng đọng màng mỏng có hỗ trợ ion-tích hợp nhiều-chùm electron{2}}/sự bay hơi nhiệt với nguồn ion loại-End{4}}Hall hoặc Kaufman-hiệu suất cao. Trong quá trình lắng đọng hơi vật lý (PVD),...Xem thêm -
![Thiết bị bay hơi hỗ trợ chùm tia ion]()
Thiết bị bay hơi hỗ trợ chùm tia ionHệ thống IBAE kết hợp chùm tia điện tử hoặc bay hơi nhiệt với nguồn ion chùm tia rộng-tích hợp. Việc bắn phá ion đồng thời trong quá trình phát triển màng sẽ chuyển động năng sang các nguyên tử...Xem thêm -
![Ion-Thiết bị lắng đọng màng mỏng được hỗ trợ]()
Ion-Thiết bị lắng đọng màng mỏng được hỗ trợThiết bị lắng đọng màng mỏng có hỗ trợ IA-sê-ri Ion{1}}được hỗ trợ tích hợp sự bay hơi nhiệt chùm tia điện tử-với nguồn ion Kaufman hoặc End{3}}Hall. Sự bắn phá ion giàu năng lượng (hỗn hợp...Xem thêm -
![Hệ thống màng mỏng bay hơi có hỗ trợ ion{0}}]()
Hệ thống màng mỏng bay hơi có hỗ trợ ion{0}}Hệ thống màng mỏng hỗ trợ bay hơi bằng ion (IAE) tích hợp lắng đọng hơi vật lý (PVD) với bắn phá chùm ion năng lượng. Trong quá trình bay hơi chùm tia nhiệt hoặc chùm tia điện tử, nguồn ion...Xem thêm -
![Thiết bị màng mỏng bay hơi có hỗ trợ ion]()
Thiết bị màng mỏng bay hơi có hỗ trợ ionHệ thống bay hơi được hỗ trợ ion-cấp công nghiệp (IAE) tích hợp quá trình bay hơi chùm tia-điện tử bỏ túi-với nguồn chùm ion năng lượng cao (cấu hình End-Hall hoặc Kaufman). Việc bắn phá ion-thời...Xem thêm
Thông số kỹ thuật
|
tham số |
Đặc điểm kỹ thuật |
|
Áp suất cơ bản cuối cùng |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Nguồn bay hơi |
Súng bắn tia E-túi nhiều-(4 × 15cc đến 40cc) và nguồn nhiệt điện trở |
|
Loại nguồn ion |
Gridless End-Hall / Kaufman-nguồn ion loại (điện áp chùm tia: 50 – 1500 V, dòng ion: 0,1 – 3 A) |
|
Kiểm soát độ dày màng |
Cân vi lượng tinh thể thạch anh (QCM) + Hệ thống giám sát quang học (OMS), độ chính xác ± 0,1 nm |
|
Cố định bề mặt |
Thiết bị cố định xoay hành tinh, bán kính mái vòm được tùy chỉnh theo hình dạng nền |
|
Hệ thống sưởi nền |
Mảng gia nhiệt bức xạ, lên tới 350 độ với độ đồng đều PID ± 2 độ |
|
Kiến trúc điều khiển |
PLC + PC công nghiệp, thực hiện công thức tự động, ghi dữ liệu tuân thủ SECS/GEM |
Quá trình lắng đọng ion{0}}được hỗ trợ
Tạo hơi:
Vật liệu được làm bay hơi khỏi nồi nấu kim loại e{0}}hoặc thuyền nhiệt ở tốc độ lắng đọng được kiểm soát (0,1 – 2,0 nm/s).
01
Chuyển động lượng:
Các ion năng lượng (Ar⁺, O⁺) bắn phá bề mặt chất nền đồng thời với dòng hơi tới từ chùm tia E-hoặc nguồn nhiệt.
02
Sửa đổi cấu trúc vi mô:
Tác động của ion giúp tăng cường tính di động của bề mặt adatom, ngăn chặn sự phát triển của hạt dạng cột và đạt được mật độ-gần như khối (mật độ đóng gói > 99%).
03
Hiệu chỉnh cân bằng hóa học:
Hỗ trợ ion phản ứng (O₂) đảm bảo quá trình oxy hóa hoàn toàn các-oxit phụ trong màng oxit kim loại (ví dụ: Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), loại bỏ các dải hấp thụ trong phổ UV-NIR.
04
Chất liệu phim
Oxit:
SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (Độ ổn định chiết suất cao cho các bộ lọc quang học).
Fluoride:
MgF₂, LaF₃ (Các lớp có chiết suất thấp dành cho lớp phủ AR băng thông rộng).
Kim loại:
Al, Ag, Au, Ti (Lớp bám dính và tấm phản xạ kim loại).
Ứng dụng
Quang học Laser & Chính xác:
Bộ lọc thông dải, gương lưỡng sắc và lớp phủ bảo vệ bằng tia laze yêu cầu ngưỡng thiệt hại do tia laze-gây ra (LIDT) cao và độ dịch chuyển quang phổ bằng không khi chịu áp lực nhiệt.
Kính che LiDAR:
Màng mỏng chống-phản chiếu (AR) và chống{1}}bẩn bền bỉ chịu được thời tiết khắc nghiệt ngoài trời.
Bao bì bán dẫn:
Các lớp bao bọc ngăn chặn độ ẩm và các miếng tiếp xúc bằng kim loại được lắng đọng ở nhiệt độ bề mặt thấp.
Cảm biến y sinh:
Lớp phủ giao thoa quang học tương thích sinh học cho chip vi lỏng chẩn đoán
Tùy chỉnh
Buồng và bố trí bên trong được thiết kế theo dấu chân sản xuất và yêu cầu quy trình cụ thể:
Kích thước buồng:
Có thể mở rộng từ các đơn vị R&D R=600 mm đến hệ thống sản xuất có công suất cao R=1200 mm-.
Gói bơm:
Có thể cấu hình với máy bơm tuabin phân tử Maglev, máy bơm lạnh và đường hỗ trợ máy thổi Roots dựa trên yêu cầu về tải khí.
Tích hợp nguồn:
Cấu hình nguồn ion-kép hoặc thiết lập đồng-lắng đọng cho các màng gradient hợp kim phức tạp và nhiều{2}}lớp.
Cấp độ tự động hóa:
Tích hợp với các hệ thống chuyển chất nền phòng sạch tự động (công cụ cụm chân không/EFEM).
Kiểm soát chất lượng
Phát hiện rò rỉ:
Mọi buồng chân không đều được kiểm tra độ rò rỉ khí heli-bằng máy quang phổ khối (tốc độ rò rỉ < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Truy xuất nguồn gốc thành phần:
Van chân không, bộ điều khiển lưu lượng lớn (MFC) và nguồn điện có nguồn gốc từ các thương hiệu công nghiệp Cấp 1 đủ tiêu chuẩn (MKS, Inficon, VAT).
Kiểm tra chấp nhận tại nhà máy (FAT):
Chạy-các thử nghiệm để xác minh áp suất cơ bản, đường cong bơm, độ ổn định của nguồn và độ bền buồng trống liên tục trong 24- giờ trước khi giao hàng.
Xác nhận đo lường:
Các lần chạy mẫu được xác minh bằng máy đo quang phổ (độ truyền qua/phản xạ) và kính hiển vi lực nguyên tử (độ nhám bề mặt Ra < 0,5 nm).
Hỗ trợ cài đặt và kỹ thuật
Hướng dẫn chuẩn bị trang web:
Các yêu cầu tiện ích toàn diện được cung cấp trước khi giao hàng (lưu lượng/áp suất nước làm mát, khí nén phòng sạch, phân phối điện, thoát khí thải).
Vận hành chìa khóa trao tay:
Các kỹ sư dịch vụ hiện trường xử lý việc lắp ráp cơ khí, nướng-chân không, hiệu chỉnh chùm ion và ký công thức quy trình ban đầu-tại-tại chỗ.
Đào tạo người vận hành:
Đào tạo thực hành có cấu trúc-bao gồm bảo trì định kỳ, an toàn chân không, vận hành phần mềm và khắc phục sự cố.
Hỗ trợ vòng đời:
Giao diện chẩn đoán từ xa để khắc phục sự cố phần mềm nhanh chóng; Kho các mặt hàng quan trọng trong khu vực (dây tóc, nồi nấu kim loại, tấm chắn) được gửi đi trong vòng 48 giờ.
Câu hỏi thường gặp
Chúng tôi-nổi tiếng là một trong những nhà sản xuất và cung cấp thiết bị màng mỏng bay hơi có hỗ trợ ion- hàng đầu tại Trung Quốc. Nếu bạn định mua thiết bị màng mỏng bay hơi có hỗ trợ ion-tùy chỉnh được sản xuất tại Trung Quốc, vui lòng nhận bảng giá từ nhà máy của chúng tôi. Để được tư vấn về giá, hãy liên hệ với chúng tôi.
