Thiết bị màng mỏng bay hơi chùm tia điện tử

Dòng EBE-V600 là nền tảng lắng đọng hơi vật lý (PVD) quy mô-công nghiệp được thiết kế để phủ màng mỏng-chính xác cho các thành phần quang học, thiết bị bán dẫn và vật liệu tiên tiến. Bằng cách hướng chùm tia điện tử tập trung từ tính, năng lượng cao vào các vật liệu nguồn bên trong nồi nấu kim loại được làm mát bằng nước-, hệ thống đạt được tốc độ bay hơi nhanh trong khi vẫn cách ly tải nhiệt khỏi thành buồng.

Kiến trúc kết hợp nhiều nguồn điện tử bỏ túi và cảm biến cân bằng vi mô tinh thể thạch anh (QCM) kép, đảm bảo độ trung thực của màng cân bằng hóa học và kiểm soát độ dày nhất quán trên các ngăn xếp điện môi hoặc kim loại nhiều lớp.

Súng lệch từ trường 270 độ E{1}}:Cách ly dây tóc vonfram khỏi đường dẫn hơi trực tiếp, ngăn ngừa đoản mạch-và kéo dài tuổi thọ hoạt động giữa các khoảng thời gian bảo trì.

Kiểm soát quét kỹ thuật số:Các mẫu raster có thể lập trình phân phối năng lượng điện tử đồng đều trên bề mặt bay hơi, giảm thiểu sự hình thành lỗ kim và sự bay hơi ưu tiên trong quá trình lắng đọng hợp kim.

Kiến trúc chân không tách rời:Các đường bơm chân không thô và{0}}cao được cách ly về mặt cấu trúc với khung buồng chính để ngăn chặn sự truyền rung động cơ học trong quá trình phát triển màng.

Ma trận an toàn khóa liên động phần cứng:Giám sát PLC-thời gian thực về lưu lượng nước làm mát, phản hồi điện áp- cao, áp suất khí nén và tính toàn vẹn của vòng đệm cửa.

Mạch phụ chân không-được thiết kế để đạp xe nhanh và áp suất cơ bản thấp nhằm giảm thiểu việc đưa khí dư (H2O, O2, N2) vào màng đang phát triển:

-Bơm chân không cao:Bơm phân tử turbo{1}}1200 L/s được hỗ trợ bởi bơm cánh quạt quay giai đoạn kép (hoặc cấu hình bơm cuộn khô để tuân thủ phòng sạch).

Van cách ly:Van cổng có độ dẫn điện cao-được dẫn động bằng khí nén cách ly buồng trong quá trình vận hành tải.

Đo chân không:Máy đo ion hóa Pirani và Cathode lạnh kết hợp bao phủ phạm vi liên tục từ khí quyển đến 10^-6 Pa.

Nguồn bay hơi tương thích

Bộ lọc nhiễu quang:Sự lắng đọng nhiều lớp chỉ số-cao và chỉ số{1}}thấp nhiều lớp{2}}cho các bộ lọc thông dải hẹp-và gương laze.

Chế tạo thiết bị bán dẫn:Sự hình thành tiếp xúc Ohmic, lắng đọng oxit cổng và các lớp hạt kim loại.

Nghiên cứu về màn hình và OLED:Lắng đọng catốt kim loại mỏng và thử nghiệm thụ động hữu cơ/vô cơ nhiều lớp.

Lớp phủ chịu lửa cứng:Lớp bảo vệ chống mài mòn-cho các bộ phận cơ khí và hàng không vũ trụ.

Mở rộng phòng:Chiều cao tàu mở rộng hoặc hình học hình chữ nhật được điều chỉnh để tích hợp công cụ cụm.

Tích hợp nguồn:Nguồn bốc hơi nhiệt đồng thời (thuyền điện trở) kết hợp với súng bắn tia điện tử.

Lắng đọng ion-được hỗ trợ (IAD):Tích hợp nguồn ion-Hall hoặc Kaufman cuối để tăng mật độ màng và điều chỉnh ứng suất.

Kiến trúc phần mềm:Lập trình công thức PLC/HMI tương thích với khung tự động hóa Siemens S7 hoặc Beckhoff.

Kiểm tra rò rỉ Helium bằng khối phổ kế:Mỗi mối hàn trong buồng đều được kiểm tra ở ngưỡng loại bỏ < 1 x 10^-9 Pa·m3/s trước khi tích hợp.

Tuân thủ điện:Thử nghiệm khả năng chịu điện áp cao-và xác minh tính liên tục nối đất theo nguyên tắc CE/UL.

Kiểm tra chấp nhận tại nhà máy (FAT):72-giờ khô liên tục-chạy thử nghiệm đường cong áp suất cơ bản ghi nhật ký, khả năng lặp lại quét chùm tia điện tử và thời gian phản hồi khóa liên động. Tài liệu kiểm tra được gửi cùng với thiết bị.

Vận hành trang web:Các kỹ sư-được nhà máy chứng nhận quản lý việc căn chỉnh cơ học, xác minh rò rỉ chân không, giám sát kết nối tiện ích và chạy hiệu chuẩn ban đầu.

Đào tạo kỹ thuật:Đào tạo quy trình vận hành và bảo trì tại chỗ trong 3-ngày bao gồm thay thế dây tóc, phục hồi lại van chân không và chỉnh sửa công thức.

Tài liệu bàn giao:Tài liệu kỹ thuật hoàn chỉnh bao gồm sơ đồ P&ID, sơ đồ nối dây điện, tệp sao lưu PLC và phân loại phụ tùng thay thế.