Mô tả thiết bị:
· Giới thiệu thiết bị:
Thiết bị kim loại hóa chân không áp dụng thiết kế cấu trúc buồng đôi, buồng xử lý + buồng nạp/dỡ hàng, đây là sự tích hợp hoàn hảo giữa độ tin cậy của quy trình và hiệu quả của quy trình. thiết bị kim loại hóa chân không được trang bị Nguồn làm sạch chùm tia năng lượng cao, một số bộ Nguồn phún xạ Magnetron và hệ thống đẩy điện từ servo đáng tin cậy, thiết bị kim loại hóa chân không có tính mô-đun cao, ổn định, dễ vận hành và dễ bảo trì.
· Ưu điểm của thiết bị:
express Giao diện phổ quát mô-đun, tương thích trực tiếp với các dạng mục tiêu cực âm khác nhau, cho phép xung DC, tần số trung gian, chế độ làm việc RF, khả năng tương thích mạnh;
thể hiện từ trường và đường dẫn khí được thiết kế đặc biệt, cải thiện hiệu quả tỷ lệ sử dụng mục tiêu và độ ổn định lâu dài của quy trình;
thiết kế cấu trúc buồng đôi cấp tốc, không chỉ đảm bảo tính ổn định và nhất quán của quy trình mà còn rút ngắn đáng kể thời gian xử lý-lớp phủ trước, nâng cao hiệu quả sản xuất;
express Hệ điều hành quy trình thông minh tự động-tự thiết kế cung cấp khả năng gọi và chỉnh sửa công thức quy trình toàn diện và thuận tiện, được trang bị-hệ thống giám sát tham số quy trình theo thời gian thực, cho phép điều khiển từ xa trực tuyến.
Trường ứng dụng:
express Có thể mạ Au, Ag, Ir, Re, Pt, Ta, Ti, Cu, Cr, Ni và các kim loại khác và các hợp chất của chúng;
express Có thể được sử dụng trong các linh kiện điện tử, pin mặt trời, sản xuất-cao cấp, lưu trữ thông tin quang-từ tính và các lĩnh vực khác.
Loại lớp phủ:
|
Loại sơn |
Độ dày màng (μm) |
Trường ứng dụng |
|
Au, Ag, Ir, Re, Pt, Ta, Cr, v.v. |
0.5-10 |
Linh kiện điện tử, pin mặt trời, sản xuất-cao cấp, lưu trữ thông tin quang-từ tính, v.v. |
Chú phổ biến: thiết bị kim loại chân không, nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy thiết bị kim loại chân không Trung Quốc
